Создание оптических микроструктур с градиентным показателем преломления методом двухфотонной лазерной литографии
- Авторы: Апарин М.Д.1, Балуян Т.Г.1, Шарипова М.И.1, Сиротин М.А.1, Любин Е.В.1, Соболева И.В.1, Бессонов В.О.1, Федянин А.А.1
-
Учреждения:
- Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования “Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова”, Физический факультет
- Выпуск: Том 87, № 6 (2023)
- Страницы: 807-812
- Раздел: Статьи
- URL: https://rjpbr.com/0367-6765/article/view/654377
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0367676523701405
- EDN: https://elibrary.ru/VKYZQG
- ID: 654377
Цитировать
Аннотация
Метод двухфотонной литографии использован для изготовления оптических микроструктур с градиентом показателя преломления. На примере параллелепипедов, при печати которых используются заданные линейное или гауссово пространственные распределения мощности лазерного излучения, показана принципиальная возможность локально изменять показатель преломления на величину до 0.03. Предложенный метод перспективен для создания микрооптических элементов.
Об авторах
М. Д. Апарин
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования“Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова”, Физический факультет
Автор, ответственный за переписку.
Email: aparin@nanolab.phys.msu.ru
Россия, Москва
Т. Г. Балуян
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования“Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова”, Физический факультет
Email: aparin@nanolab.phys.msu.ru
Россия, Москва
М. И. Шарипова
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования“Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова”, Физический факультет
Email: aparin@nanolab.phys.msu.ru
Россия, Москва
М. А. Сиротин
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования“Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова”, Физический факультет
Email: aparin@nanolab.phys.msu.ru
Россия, Москва
Е. В. Любин
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования“Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова”, Физический факультет
Email: aparin@nanolab.phys.msu.ru
Россия, Москва
И. В. Соболева
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования“Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова”, Физический факультет
Email: aparin@nanolab.phys.msu.ru
Россия, Москва
В. О. Бессонов
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования“Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова”, Физический факультет
Email: aparin@nanolab.phys.msu.ru
Россия, Москва
А. А. Федянин
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования“Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова”, Физический факультет
Email: aparin@nanolab.phys.msu.ru
Россия, Москва
Список литературы
- Gomez-Reino C., Perez M., Bao C. Gradient-index optics: fundamentals and applications. Springer, 2002. 239 p.
- Hwang Y., Phillips N., Dale E.O. et al. // Opt. Express. 2022. V. 30. No. 8. P. 12294.
- Gomez-Reino C., Perez M.V., Bao C., Flores-Arias T.M. // Laser Photon. Rev. 2008. V. 2. No. 3. P. 203.
- Kundal S., Bhatnagar A., Sharma R. Optical and wireless technologies, Springer, 2022. 443 p.
- Pickering M.A., Taylor R.L., Moore D.T. // Appl. Opt. 1986. V. 25. No. 19. P. 3364.
- Ohmi S., Sakai H., Asahara Y. et al. // Appl. Opt. 1988. V. 27. No. 3. P. 496.
- Sinai P. // Appl. Opt. 1971. V. 10. No. 1. P. 99.
- Liu J.H., Yang P.C., Chiu Y.H. // J. Polym. Sci. A. 2006. V. 44. No. 20. P. 5933.
- Liu J.H., Chiu Y.H. // Opt. Lett. 2009. V. 34. No. 9. P. 1393.
- Mingareev I., Kang M., Truman M. et al. // Opt. Laser Technol. 2020. V. 126. Art. No. 106058.
- Dylla-Spears R., Yee T.D., Sasan K. et al. // Sci. Advances. 2020. V. 6. No. 47. Art. No. eabc7429.
- Mao M., He J., Li X. et al. // Micromachines. 2017. V. 8. No. 4. P. 113.
- Sharipova M.I., Baluyan T.G., Abrashitova K.A. et al. // Opt. Mater. Express. 2021. V. 11. No. 2. P. 371.
- Zhou X., Hou Y., Lin J. // AIP Advances. 2005. V. 5. No. 3. Art. No. 030701.
- Ocier R.C., Richards C.A., Bacon-Brown D.A. et al. // Light Sci. Appl. 2020. V. 9. Art. No. 196.
- Žukauskas A., Matulaitienė I., Paipulas D. et al. // Laser Photon. Rev. 2015. V. 9. No. 6. P. 706.
- Pertoldi L., Zega V., Comi C., Osellame R. // J. Appl. Phys. 2020. V. 128. No. 17. Art. No. 175102.
- Drexler W., Fujimoto J.G. Optical coherence tomography. Technology and applications. Springer, 2008. 1327 p.
- Sirotin M.A., Romodina M.N., Lyubin E.V. et al. // Biomed. Opt. Express. 2022. V. 13. No. 1. P. 14.
- Safronov K.R., Gulkin D.N., Antropov I.M. et al. // ACS Nano. 2020. V. 14. No. 8. P. 10428.
- Safronov K.R., Bessonov V.O., Akhremenkov D.V. et al. // Laser Photon. Rev. 2022. V. 16. No. 4. Art. No. 2100542.
- Giessibl F.J. // Rev. Mod. Phys. 2003. V. 75. No. 3. P. 949.
Дополнительные файлы
