О допированных железом алмазоподобных пленках, полученных в разряде с полым катодом

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Представлены результаты измерения вольт-амперных характеристик допированных железом алмазоподобных пленок, полученных комбинированным методом физического распыления железного катода и плазмохимического осаждения в разряде с полым катодом. Показан нелинейный характер поперечной проводимости пленки, а также отмечено значительное влияние амплитудного значения напряжения развертки на амплитудное значение тока и форму вольт-амперной характеристики.

Об авторах

И. А. Сорокин

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН; Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»

Автор, ответственный за переписку.
Email: iasorokin@mail.ru
Россия, пл. Введенского, 1, Фрязино, Московская обл., 141190; Каширское шос., 31, Москва, 115409

Д. В. Колодко

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН; Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»

Email: iasorokin@mail.ru
Россия, пл. Введенского, 1, Фрязино, Московская обл., 141190; Каширское шос., 31, Москва, 115409

Список литературы

  1. Сорокин И.А., Колодко Д.В., Краснобаев К.И. // РЭ. 2020. Т.65. №3. С.288.
  2. Sorokin I.A., Kolodko D.V. // Vacuum. 2023. V. 207. Article No. 111570.
  3. Vedeneev A. S., Luzanov V. A., Rylkov V. V. // Semiconductors. 2019. V. 53. № 14. P. 1970.
  4. Николаев С.Н., Веденеев А.С., Лузанов В.А. и др. // РЭ. 2021. Т. 66. № 10. С. 1024.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2024