О допированных железом алмазоподобных пленках, полученных в разряде с полым катодом

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

Представлены результаты измерения вольт-амперных характеристик допированных железом алмазоподобных пленок, полученных комбинированным методом физического распыления железного катода и плазмохимического осаждения в разряде с полым катодом. Показан нелинейный характер поперечной проводимости пленки, а также отмечено значительное влияние амплитудного значения напряжения развертки на амплитудное значение тока и форму вольт-амперной характеристики.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

И. А. Сорокин

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН; Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»

Автор, ответственный за переписку.
Email: iasorokin@mail.ru
Россия, пл. Введенского, 1, Фрязино, Московская обл., 141190; Каширское шос., 31, Москва, 115409

Д. В. Колодко

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН; Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»

Email: iasorokin@mail.ru
Россия, пл. Введенского, 1, Фрязино, Московская обл., 141190; Каширское шос., 31, Москва, 115409

Список литературы

  1. Сорокин И.А., Колодко Д.В., Краснобаев К.И. // РЭ. 2020. Т.65. №3. С.288.
  2. Sorokin I.A., Kolodko D.V. // Vacuum. 2023. V. 207. Article No. 111570.
  3. Vedeneev A. S., Luzanov V. A., Rylkov V. V. // Semiconductors. 2019. V. 53. № 14. P. 1970.
  4. Николаев С.Н., Веденеев А.С., Лузанов В.А. и др. // РЭ. 2021. Т. 66. № 10. С. 1024.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2. Рис. 1. Схема эксперимента (а) и измерения проводимости (б) алмазоподобной пленки: БП — блок питания, А — пикоамперметр.

Скачать (212KB)
Метаданные
3. Рис. 2. Зависимость тока в цепи DLC(Fe) при различных значениях амплитуды напряжения развертки: Um = 1 (1), 5 (2), 7.5 (3) и 10 В (4).

Скачать (121KB)
Метаданные
4. Рис. 3. Вольт-амперные характеристики тонкой пленки DLC(Fe) для различных значений амплитуды напряжения развертки: а) Um = 1 В (сплошная кривая), б) Um = 5 (1), 7.5 (2) и 10 В (3).

Скачать (157KB)
Метаданные
5. Рис. 4. Динамика тока в цепи DLC(Fe) толщиной 200 нм при постоянной развертке напряжения, Um = 1 В.

Скачать (81KB)
Метаданные

© Российская академия наук, 2024